단파 적외선 파장을 이용한 광학 계측

• Main Authors: SALIB ISAAC, MANASSEN AMNON, LEVINSKI VLADIMIR, SHENTCIS MICHAEL, LAVERT ETAY, YOHANAN RAVIV, EISENBACH SHLOMO, HAJAJ EITAN, GRAUER YOAV, HILDESHEIM ARIEL, ABRAMOV AVI, SHAPHIROV DIANA, NIR IFTACH
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 02.11.2023
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MATERIALS THEREFOR; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; TESTING

광학 계측 도구는, 단파 적외선(short-wave infrared; SWIR) 스펙트럼 범위내와 SWIR 스펙트럼 범위 외부 둘 다의 파장을 갖는 조명을 생성하는 하나 이상의 조명원, 조명을 샘플로 지향시키도록 구성된 하나 이상의 조명 광학장치(optics); SWIR 스펙트럼 범위 내의 적어도 일부 파장을 포함하는 제1 파장 범위에 기초하여 샘플을 이미지화하도록 구성된 제1 검출기, SWIR 스펙트럼 범위 외부의 적어도 일부 파장을 포함하는 제2 파장 범위에 기초하여 샘플을 이미지화하도록 구성된 제2 검출기를 포함하는 제2 이미징 채널, 및 컨트롤러를 포함한다. 컨트롤러는 제1 검출기로부터 샘플의 제1 이미지를 수신하고, 제2 검출기로부터 샘플의 제2 이미지를 수신하고, 제1 이미지 및 제2 이미지에 기초하여 샘플의 하나 이상의 광학 계측 측정값을 생성할 수 있다. An optical metrology tool may include one or more illumination sources to generate illumination having wavelengths both within a short-wave infrared (SWIR) spectral range and outside the SWIR spectral range, illumination optics configured to direct the illumination to a sample, a first imaging channel including a first detector configured to image the sample based on a first wavelength range including at least some wavelengths in the SWIR spectral range, a second imaging channel including a second detector configured to image the sample based on a second wavelength range including at least some wavelengths outside the SWIR spectral range, and a controller. The controller may receive first images of the sample from the first detector, receive second images of the sample from the second detector, and generate an optical metrology measurement of the sample based on the first and second images.