디스플레이 제조에서 기판을 검사하기 위한 장치 및 방법, 및 기판을 프로세싱하기 위한 시스템

디스플레이 제조에서 기판(10)을 검사하기 위한 장치(100)가 제공된다. 기판은 경화 가능한 잉크가 내부에 제공된 하나 이상의 섹션(section)들을 가지며, 이 장치는 기판 지지체(110), 기판에 제1 미리 결정된 임계치 이상의 자극을 제공하기 위한 자극 소스(130), 하나 이상의 섹션들에서 경화 가능한 잉크로부터 방출되는 광 방출을 검출하기 위한 광학 검사 디바이스(120), 및 광학 검사 디바이스에 의해 검출된 광 방출로부터 계산된 하나 이상의 섹션들의 충전 상태에 대한 정보를 제공하기 위한 제어기(140)를 포함한다....

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Bibliographic Details
Main Authors GALLIANI CARLO, CELLERE GIORGIO, FURIN VALENTINA, NG HOU T
Format Patent
LanguageKorean
Published 23.10.2023
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
COLORIMETRY
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT
MEASURING
PHYSICS
RADIATION PYROMETRY
SEMICONDUCTOR DEVICES
TESTING
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Summary:디스플레이 제조에서 기판(10)을 검사하기 위한 장치(100)가 제공된다. 기판은 경화 가능한 잉크가 내부에 제공된 하나 이상의 섹션(section)들을 가지며, 이 장치는 기판 지지체(110), 기판에 제1 미리 결정된 임계치 이상의 자극을 제공하기 위한 자극 소스(130), 하나 이상의 섹션들에서 경화 가능한 잉크로부터 방출되는 광 방출을 검출하기 위한 광학 검사 디바이스(120), 및 광학 검사 디바이스에 의해 검출된 광 방출로부터 계산된 하나 이상의 섹션들의 충전 상태에 대한 정보를 제공하기 위한 제어기(140)를 포함한다. An apparatus (100) for inspecting a substrate (10) in display manufacture is provided. The substrate has one or more sections having curable ink provided therein and the apparatus includes a substrate support (110), a stimulation source (130) for providing a stimulus at or above a first predetermined threshold to the substrate, an optical inspection device (120) for detecting a light emission emitted from the curable ink at the one or more sections, and a controller (140) for providing information about a filling status of the one or more sections calculated from the light emission detected by the optical inspection device.
Bibliography:Application Number: KR20237031844