GATES OF HYBRID-FIN DEVICES

예시적인 방법은 단일 핀 활성 영역 및 다중 핀 활성 영역 위에 배치된 게이트를 포함하는 하이브리드 핀 디바이스를 위한 하이브리드 핀 디바이스 레이아웃을 수신하는 단계를 포함한다. 단일 핀 활성 영역 및 다중 핀 활성 영역은 제1 방향을 따라 길게 연장된다. 게이트는 제2 방향을 따라 길게 연장되고, 제2 방향은 제1 방향과는 상이하고, 게이트는 제1 방향을 따라 폭을 가진다. 단일 핀 활성 영역 및 게이트의 제1 부분은 제1 전기적 특성을 갖는 제1 핀 기반 디바이스를 형성한다. 다중 핀 활성 영역 및 게이트의 제2 부분은 제1...

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Main Authors LEE YI JUEI, LI CHENG TANG, WU BI FEN, CHANG HUANG CHAO
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 23.10.2023
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