제어기 및 기화 공급 장치

• Main Authors: HIRATA KAORU, NAGASE MASAAKI, IKEDA NOBUKAZU, KITANO MASAFUMI, NISHINO KOUJI, TANAKA KAZUTERU, MORISAKI KAZUYUKI, HIDAKA ATSUSHI, NAKATANI TAKATOSHI
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 17.10.2023
• Subjects: ACTUATING-FLOATS; BLASTING; CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY; COCKS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING; ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; HEATING; LIGHTING; MECHANICAL ENGINEERING; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL; TAPS; THEIR RELEVANT APPARATUS; THERMAL INSULATION IN GENERAL; TRANSPORTING; VALVES; WEAPONS

(과제) 다이어프램의 합성수지 피막의 내소실성을 향상시킬 수 있는 유체를 제어하는 제어기, 및 상기 제어기를 구비하는 기화 공급 장치를 제공한다. (해결 수단) 제어기(3)는 유입로(6) 및 유출로(7)를 구비하는 보디(8)와, 유입로(6)와 유출로(7)의 사이에 설치된 밸브 시트(9)와, 밸브 시트(9)에 접촉 이격 가능한 다이어프램(10)과, 다이어프램(10)을 밸브 시트(9)에 접촉 이격시키는 액추에이터(11)를 구비하고, 밸브 시트(9)의 재질은 니켈을 베이스로 하며, 다이어프램(10)은 밸브 시트(9)에 접촉하는 측의 면에 합성수지 피막(27)을 구비한다. A controller capable of improving the disappearance resistance of a synthetic resin coating of a diaphragm, and a vaporization supply device comprising the controller. The controller includes a body having an inflow passage and an outflow passage, a valve seat provided between the inflow passage and the outflow passage, a diaphragm capable of being seated on or separated from the valve seat, and an actuator for causing the diaphragm to be seated on and separated from the valve seat. The material of the valve seat is nickel-based, and the diaphragm is provided with a synthetic resin coating on a surface of a side to be brought into contact with the valve seat.