SUBSTRATE MOUNTING TABLE SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

• Main Authors: OGAMI KATSUYUKI, HEMMI ATSUSHI, FUKASAWA JUNICHI
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 26.09.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

The present disclosure provides a substrate mounting table, a substrate processing device, and a substrate processing method, wherein non-uniform substrate processing is inhibited at a position corresponding to an elevating pin. The substrate mounting table having a mounting surface on which a substrate is mounted comprises: a base material; an elevating pin composed of a conductor, moving up and down with respect to the mounting surface, having a step between an upper portion and a lower portion, and in which the diameter of the upper portion is larger than the diameter of the lower portion; a pin hole opened on the mounting surface, and through which the elevating pin formed inside the base material protrudes and retracts; and a holder including a through hole through which the elevating pin passes, installed on the base material and composed of a conductor. The holder includes an outer holder and an inner holder having a common central axis. The through hole is formed on the central axis of the inner holder so that the elevating pin can move up and down. The diameter of the through hole is smaller than the diameter of the upper portion of the elevating pin. The inner holder is supported on the outer holder to be able to slide via an elastic member disposed between the inner holder and the outer holder. [과제] 본 개시는 승강 핀에 대응하는 위치에 있어서 기판 처리가 불균일이 되는 것을 억제하는 기판 탑재대, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공한다. [해결 수단] 기판을 탑재하는 탑재면을 갖는 기판 탑재대에 있어서, 기재와, 도체로 구성되고, 상기 탑재면에 대해서 승강하고, 상부와 하부와의 사이에 단차를 갖고, 상기 상부의 직경이 상기 하부의 직경보다 큰 승강 핀과, 상기 탑재면에 개구하고 상기 기재의 내부에 형성된 상기 승강 핀이 돌몰하는 핀 구멍과, 상기 승강 핀이 관통하는 관통 구멍을 포함하며, 상기 기재에 설치되고 도체로 구성된 홀더를 구비하며, 상기 홀더는 공통의 중심축을 갖는 외측 홀더와, 내측 홀더를 구비하며, 상기 관통 구멍은 상기 내측 홀더의 중심축 위에 상기 승강 핀이 상하이동 가능하게 형성되며, 상기 관통 구멍의 직경은 상기 승강 핀의 상기 상부의 직경보다 작고, 상기 내측 홀더는, 상기 외측 홀더와의 사이에 배치된 탄성 부재를 거쳐서, 슬라이딩 가능하게 상기 외측 홀더에 지지되는 기판 탑재대.