SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

• Main Authors: SASAKI KEISUKE, SAITO YUKIYOSHI, TANAKA KOJI, HIRASE KEITA
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 29.08.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

Provided is a technology capable of improving productivity of a substrate processing system. According to one aspect of the present disclosure, a substrate processing system includes: a carry-in/carry-out unit in which a cassette for accommodating a plurality of substrates is carried in/out; an arrangement processing unit for collectively processing a lot including the plurality of substrates; a single-substrate processing unit for processing the substrates of the lot one by one; and an interface unit for delivering the substrate between the arrangement processing unit and the single-substrate processing unit, wherein the arrangement processing unit includes: a processing bath for immersing and processing the lot; and a first transfer device for transferring the lot to the processing bath, and the interface unit includes: an immersion bath disposed out of a movement range of the first transfer device to immerse the lot; and a second transfer device for transferring the lot between the first transfer device and the immersion bath. [과제] 기판 처리 시스템의 생산성을 향상시킬 수 있는 기술을 제공한다. [해결수단] 본 개시의 일양태에 의한 기판 처리 시스템은, 복수매의 기판을 수용하는 카세트가 반입 반출되는 반입 반출부와, 복수매의 상기 기판을 포함하는 로트를 일괄적으로 처리하는 배치 처리부와, 상기 로트의 상기 기판을 1장씩 처리하는 매엽 처리부와, 상기 배치 처리부와 상기 매엽 처리부 사이에서 상기 기판을 전달하는 인터페이스부를 가지며, 상기 배치 처리부는, 상기 로트를 침지하여 처리하는 처리조와, 상기 처리조에 상기 로트를 반송하는 제1 반송 장치를 가지며, 상기 인터페이스부는, 상기 제1 반송 장치의 이동 범위 밖에 배치되어 상기 로트를 침지하는 침지조와, 상기 제1 반송 장치와 상기 침지조 사이에서 상기 로트를 전달하는 제2 반송 장치를 갖는다.