파라미터 도출 장치, 파라미터 도출 방법 및 파라미터도출 프로그램

• Main Authors: MOKI HIRONORI, KATO TAKAHIKO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 28.08.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

형상 시뮬레이터를 사용하여 시뮬레이션 파라미터의 대역적인 최적해를 도출하는 파라미터 도출 장치로서, 같은 처리 조건에서 처리된 기판의 처리 전 형상을 나타내는 데이터와 처리 후 형상을 나타내는 데이터의 복수 개의 조합으로서, 처리 전 또는 처리 후의 형상을 나타내는 데이터가 다른 조합의 처리 전 또는 처리 후의 형상을 나타내는 데이터와는 다른 복수 개의 조합을 생성하는 생성부와, 상기 복수 개의 조합에 포함되는 각각의 처리 전 형상을 나타내는 데이터를 형상 시뮬레이터에 입력함으로써 예측되는 처리 후 형상을 나타내는 데이터와, 대응하는 처리 후 형상을 나타내는 데이터 간 각 차분의 총합을 최소로 하는 상기 형상 시뮬레이터의 시뮬레이션 파라미터 값을 도출하는 도출부를 포함한다. A global optimum solution of a simulation parameter is derived using a shape simulator. A parameter deriving device includes a generating unit configured to generate a plurality of combinations of data indicating pre-processing shapes and data indicating post-processing shapes of substrates processed under a same processing condition, data indicating a pre-processing shape or a post-processing shape being different from data indicating a pre-processing shape or a post-processing shape included in another combination in the plurality of combinations, and a deriving unit configured to derive a value of a simulation parameter of a shape simulator that minimizes a sum of respective differences between data indicating predicted post-processing shapes and data indicating corresponding post-processing shapes, the predicted post-processing shapes being predicted by inputting the data indicating the pre-processing shapes included in the plurality of combinations into the shape simulator.