Loader device and substrate transport system

• Main Authors: KANG HYUN JAE, KANG SEUNG GYU, LEE SANG KYUNG, PARK CHUL JUN, LIM JEONG HUN, AHN YONG JUN, LEE HYUN WOO, KIM YOUNG WOOK
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 22.08.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

A loader device with improved efficiency and safety is provided. The loader device comprises: a frame defining an outer shape; a first opening formed in a first side surface of the frame; a second opening formed in a second side surface of the frame which is opposite to the first side surface; a cavity unit connected to the first opening and the second opening and penetrating the frame; a transfer unit disposed in the cavity unit and transferring a substrate carrier between the first opening and the second opening; a first sensor disposed on the first side surface and sensing the presence or absence of a first substrate carrier arranged with the first opening; a second sensor disposed on the second side surface and sensing access of a person in a sensing region of the second sensor around the frame; and a controller which receives a first sensor signal from the first sensor and receives a second sensor signal from the second sensor. In response to the first sensor signal which indicates the presence of the first substrate carrier arranged with the first opening, the controller controls the transfer unit to transfer no second substrate carrier different from the first substrate carrier into the first opening in a first mode, controls the transfer unit to pick up the first substrate carrier from the first opening in a second mode, and interrupts operation of the transfer unit in response to the second sensor signal which indicates access of the person. 효율성과 안전성이 향상된 로더 장치가 제공된다. 로더 장치는, 외형을 정의하는 프레임, 프레임의 제1 측면에 형성된 제1 개구, 제1 측면의 반대편의 제2 측면에 형성된 제2 개구, 제1 개구 및 제2 개구와 연결되고, 프레임을 관통하는 관통부, 관통부에 배치되고, 제1 개구와 제2 개구 사이에서 기판 캐리어를 전달하는 반송부, 제1 측면에 배치되고, 제1 개구와 정렬된 제1 기판 캐리어의 존재 여부를 감지하는 제1 센서, 제2 측면에 배치되고, 프레임의 주변의 감지 영역 상의 인체의 접근을 감지하는 제2 센서 및 제1 센서로부터 제1 센서 신호를 제공받고, 제2 센서로부터 제2 센서 신호를 제공받는 컨트롤러를 포함하고, 컨트롤러는, 제1 개구와 정렬된 제1 기판 캐리어의 존재를 지시하는 제1 센서 신호에 응답하여, 제1 모드에서 반송부가 제1 개구로 제1 기판 캐리어와 다른 제2 기판 캐리어를 전달하지 않도록 제어하고, 제2 모드에서 반송부가 제1 개구로부터 제1 기판 캐리어를 픽업하도록 제어하고, 인체의 접근을 지시하는 제2 센서 신호에 응답하여, 반송부의 동작을 중단시킨다.