반도체 장치의 제조 방법

반도체 장치 상에 점착성의 단열재를 배치하는 공정과, 단열재가 배치된 반도체 장치를 리플로하는 공정과, 반도체 장치로부터 단열재를 박리하는 공정을 구비하는, 반도체 장치의 제조 방법. A method for manufacturing a semiconductor device, the method including: a step of disposing an adhesive thermal insulation material on a semiconductor device; a step of performing reflow of the se...

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Main Authors FURUKAWA NAOKI, MARUYAMA NAOKI, OKADA YUTAKA, KOTAKE TOMOHIKO, MATSUBARA NOZOMI, HIGASHIUCHI TOMOKO, YOKOTA HIROSHI
Format Patent
LanguageKorean
Published 22.08.2023
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Summary:반도체 장치 상에 점착성의 단열재를 배치하는 공정과, 단열재가 배치된 반도체 장치를 리플로하는 공정과, 반도체 장치로부터 단열재를 박리하는 공정을 구비하는, 반도체 장치의 제조 방법. A method for manufacturing a semiconductor device, the method including: a step of disposing an adhesive thermal insulation material on a semiconductor device; a step of performing reflow of the semiconductor device having the thermal insulation material disposed thereon; and a step of detaching the thermal insulation material from the semiconductor device.
Bibliography:Application Number: KR20237020853