하전 입자 빔 검사 시스템에서의 토폴로지 기반의 이미지 렌더링

• Main Authors: KEA MARC JURIAN, MA BING, LIANG HAOYI, CHEN ZHICHAO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 16.08.2023
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CALCULATING; CINEMATOGRAPHY; COMPUTING; COUNTING; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

이미지 정렬의 시스템 및 방법이 본원에서 개시된다. 이미지 정렬의 방법은 샘플의 이미지를 획득하는 것, 대응하는 기준 이미지와 관련되는 정보를 획득하는 것, 렌더링된 이미지의 토폴로지가 실질적으로 보존되도록 대응하는 기준 이미지의 렌더링된 이미지를 블러링 - 블러링의 정도는 토폴로지의 특성에 기초함 - 하는 것에 의해 수정된 렌더링된 이미지를 생성하는 것, 및 샘플의 이미지를 블러링된 렌더링된 이미지와 정렬하는 것을 포함할 수도 있다. 방법은 샘플의 이미지와 블러링된 렌더링된 이미지 사이의 정렬에 기초하여 샘플의 이미지를 대응하는 기준 이미지와 정렬하는 것을 더 포함할 수도 있다. Systems and methods of image alignment are disclosed herein. The method of image alignment may comprise obtaining an image of a sample, obtaining information associated with a corresponding reference image, generating a modified rendered image by blurring a rendered image of the corresponding reference image such that a topology of the rendered image is substantially preserved, wherein a degree of blurring is based on a characteristic of the topology, and aligning the image of the sample with the blurred rendered image. The method may further comprise aligning the image of the sample with the corresponding reference image based on an alignment between the image of the sample and the blurred rendered image.