캐리어 이송 조립체를 위한 롤러, 기판 프로세싱 시스템,기판 프로세싱 시스템을 유지보수하는 방법, 및 디바이스를 제조하는 방법

캐리어 이송 조립체(carrier transport assembly)를 위한 롤러(roller)가 설명된다. 롤러는, 회전 가능하고 기판 지지 표면을 갖는 롤러 본체(roller body); 롤러의 적어도 일부를 둘러싸는 롤러 케이싱(roller casing); 및 롤러 케이싱의 포획 표면(trapping surface)을 포함하며, 포획 표면은 적어도 롤러와 대면하는 적어도 제1 표면 부분을 갖는다. A roller for a carrier transport assembly is described. The roller includ...

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Main Authors BRUENING ANDRE, JIANG KAIYUN, EHMANN CHRISTIAN WOLFGANG, HEIMEL OLIVER, LINDENBERG RALPH, KURITA SHINICHI
Format Patent
LanguageKorean
Published 11.08.2023
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Summary:캐리어 이송 조립체(carrier transport assembly)를 위한 롤러(roller)가 설명된다. 롤러는, 회전 가능하고 기판 지지 표면을 갖는 롤러 본체(roller body); 롤러의 적어도 일부를 둘러싸는 롤러 케이싱(roller casing); 및 롤러 케이싱의 포획 표면(trapping surface)을 포함하며, 포획 표면은 적어도 롤러와 대면하는 적어도 제1 표면 부분을 갖는다. A roller for a carrier transport assembly is described. The roller includes a roller body being rotatable and having a substrate support surface; a roller casing surround at least a portion of the roller; and a trapping surface of the roller casing, the trapping surface having at least a first surface portion facing the roller.
Bibliography:Application Number: KR20237023489