광전 변환 소자, 광 검출 장치, 광 검출 시스템, 전자 기기 및 이동체

• Main Authors: KOJIMA TAKASHI, ZAIZEN YOSHIFUMI, OHBA YOSHIYUKI, YUKAWA TOMIYUKI, KAWAHARA YUKI, MASUNAGA TAKUYA, OKAMOTO MASAKI, HIRATA SHINTAROU, TAKAHASHI SHINGO, SUGIYAMA TOMOHIRO, MURATA KENICHI, JOEI MASAHIRO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 08.08.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

높은 기능을 갖는 광전 변환 소자를 제공한다. 이 광전 변환 소자는, 반도체 기판과, 그 반도체 기판 상에 마련되고, 제1 파장 영역의 광을 검출하여 광전 변환을 행하는 제1 광전 변환부와, 반도체 기판 내 중 반도체 기판의 두께 방향에 있어서 제1 광전 변환부와 겹치는 위치에 마련되고, 제2 파장 영역의 광을 검출하여 광전 변환을 행하는 제2 광전 변환부와, 두께 방향에 있어서 제1 광전 변환부와 제2 광전 변환부 사이에 끼워져 있고, 제1 파장 영역의 광보다도 제2 파장 영역의 광이 투과하기 쉬운 광학 필터와, 두께 방향과 직교하는 면을 따른 면 방향에 있어서 광학 필터와 적어도 일부가 중첩되도록 면을 따라서 광학 필터를 둘러싸고, 적어도 제2 파장 영역의 광을 차광하는 제1 차광 부재를 갖는다. A highly functional photoelectric conversion element is provided. The photoelectric conversion element includes: a semiconductor substrate; a first photoelectric converter that is provided on the semiconductor substrate, and detects light in a first wavelength range and photoelectrically converts the light; a second photoelectric converter that is provided at a position overlapping the first photoelectric converter in a thickness direction of the semiconductor substrate in the semiconductor substrate, and detects light in a second wavelength range and photoelectrically converts the light; an optical filter that is sandwiched between the first photoelectric converter and the second photoelectric converter in the thickness direction, and through which the light in the second wavelength range passes more easily than the light in the first wavelength range; and a first light-shielding member that surrounds the optical filter along a plane orthogonal to the thickness direction to at least partially overlap the optical filter in a plane direction along the plane, and shields at least the light in the second wavelength range.