수평 사전 세정 모듈을 위한 패드 캐리어

• Main Authors: GOLUBOVSKY EDWARD, MIKHAYLICHENKO EKATERINA, RANGARAJAN JAGAN
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 08.08.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

수평 사전 세정 모듈은 처리 영역을 집합적으로 한정하는 수조 및 덮개를 포함하는 챔버, 처리 영역에 배치된 회전가능한 진공 테이블 - 회전가능한 진공 테이블은 기판 수용 표면을 포함함 -, 회전가능한 진공 테이블에 근접하여 배치된 패드 컨디셔닝 스테이션, 제1 단부 및 제1 단부로부터 원위에 있는 제2 단부를 갖는 패드 캐리어 위치설정 암, 패드 캐리어 위치설정 암의 제1 단부에 결합된 패드 캐리어 조립체, 및 패드 캐리어 위치설정 암의 제2 단부에 결합되고, 회전가능한 진공 테이블 위의 제1 위치와 패드 컨디셔닝 스테이션 위의 제2 위치 사이에서 패드 캐리어 조립체를 스윙하도록 구성된 액추에이터를 포함한다. 패드 캐리어 조립체는 짐벌 베이스, 및 짐벌 베이스에 결합된 패드 캐리어를 포함하고, 짐벌 베이스 및 패드 캐리어는 기계적 클램핑 메커니즘 및 흡인 클램핑 메커니즘에 의해 버핑 패드를 지지하도록 구성된다. A horizontal pre-clean module includes a chamber including a basin and a lid which collectively define a processing area, a rotatable vacuum table disposed in the processing area, the rotatable vacuum table including a substrate receiving surface, a pad conditioning station disposed proximate to the rotatable vacuum table, a pad carrier positioning arm having a first end and a second end distal from the first end, a pad carrier assembly coupled to the first end of the pad carrier positioning arm, and an actuator coupled to the second end of the pad carrier positioning arm and configured to swing the pad carrier assembly between a first position over the rotatable vacuum table and a second position over the pad conditioning station. The pad carrier assembly includes a gimbal base and a pad carrier coupled to the gimbal base, the gimbal base and the pad carrier are configured to support a buffing pad by a mechanical clamping mechanism and a suction clamping mechanism.