STABILIZATION OF A MANUFACTURING PROCESS OF A SPECIMEN BY SHAPE ANALYSIS OF STRUCTURAL ELEMENTS OF THE SPECIMEN

• Main Authors: FRISHMAN EINAT, BEN HARUSH ILAN, BISTRITZER RAFAEL
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 27.07.2023
• Subjects: APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBEMICROSCOPY [SPM]; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

Provided are a system and a method. The method comprises: a step of acquiring a data (D_contour) providing information on a contour of an element of a semiconductor specimen acquired by an inspection tool; a step of using the data (D_contour) for generating a signal providing information on a curvature of the contour of the element; a step of determining one or more of data (D_periodicity) providing information on the cyclicity of a signal and data (D_discontinuities) providing information on the number of discontinuities in a signal (each discontinuity provides information on transition between convex parts of contour and concave parts of contour); and a step of using one or more of the data (D_periodicity) and the data (D_discontinuities) for determining the data providing information on the precise manufacture of the element. 시스템 및 방법이 제공되고, 방법은, 검사 툴에 의해 취득된 반도체 시편의 요소의 윤곽에 대한 정보를 제공하는 데이터(D윤곽)를 획득하는 단계, 요소의 윤곽의 곡률에 대한 정보를 제공하는 신호를 생성하기 위해 데이터(D윤곽)를 사용하는 단계, 신호의 주기성에 대한 정보를 제공하는 데이터(D주기성) 또는 신호 내의 불연속들의 개수에 대한 정보를 제공하는 데이터(D불연속들) 중 적어도 하나를 결정하는 단계 - 각각의 불연속은 윤곽의 볼록 부분과 윤곽의 오목 부분 사이의 전이에 대한 정보를 제공함 -, 및 요소의 정확한 제조에 대한 정보를 제공하는 데이터를 결정하기 위해 데이터(D주기성) 또는 데이터(D불연속들) 중 적어도 하나를 사용하는 단계를 포함한다.