AR 계측 도구를 위한 조명 시스템
본원에 설명된 실시예들은 측정 시스템의 광 엔진들 및 광 엔진들을 사용하는 방법들을 제공한다. 측정 시스템은 광학 디바이스의 제1 격자를 조명하도록 동작 가능한 광 엔진을 포함한다. 광 엔진은 광 엔진으로부터의 광으로 패턴을 투사한다. 광 엔진은, 측정 시스템의 검출기에 의해 캡처된 하나 이상의 이미지들로부터 계측 메트릭이 추출될 수 있도록 패턴을 제1 격자에 투사한다. 이미지를 프로세싱함으로써 계측 메트릭들이 추출된다. 계측 메트릭들은, 광학 디바이스가 이미지 품질 표준들을 충족하는지를 결정한다. Embodiments descri...
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Format | Patent |
Language | Korean |
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26.07.2023
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Summary: | 본원에 설명된 실시예들은 측정 시스템의 광 엔진들 및 광 엔진들을 사용하는 방법들을 제공한다. 측정 시스템은 광학 디바이스의 제1 격자를 조명하도록 동작 가능한 광 엔진을 포함한다. 광 엔진은 광 엔진으로부터의 광으로 패턴을 투사한다. 광 엔진은, 측정 시스템의 검출기에 의해 캡처된 하나 이상의 이미지들로부터 계측 메트릭이 추출될 수 있도록 패턴을 제1 격자에 투사한다. 이미지를 프로세싱함으로써 계측 메트릭들이 추출된다. 계측 메트릭들은, 광학 디바이스가 이미지 품질 표준들을 충족하는지를 결정한다.
Embodiments described herein provide for light engines of a measurement system and methods of using the light engines. The measurement system includes a light engine operable to illuminate a first grating of an optical device. The light engine projects a pattern with a light from a light engine. The light engine projects a pattern to the first grating such that a metrology metric may be extracted from one or more images captured by a detector of the measurement system. The metrology metrics are extracted by processing the image. The metrology metrics determine if the optical device meets image quality standards. |
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Bibliography: | Application Number: KR20237020978 |