전자 소자의 고주파(RF) 파워 테스트를 위한, 고주파(RF) 파워 신호를 전송할 수 있는 플렉서블 멤브레인 및 그에 상응하는 프로브 카드

• Main Author: MAGGIONI FLAVIO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 25.07.2023
• Subjects: CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS; MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; PRINTED CIRCUITS; TESTING

고주파 파워 신호를 전송할 수 있는 플렉서블 멤브레인이 설명되는데, 상기 멤브레인은, 다수의 마이크로 콘택 프로브들(25)과 전기적으로 접속할 수 있고 상기 플렉서블 멤브레인(30)의 중앙부(30A)에 형성된 다수의 콘택 패드들(31A, 31B) 및 지지 플레이트(24)와 전기적으로 접속할 수 있고 상기 플렉서블 멤브레인(30)의 주변부(30C)에 형성된 다수의 콘택 구조들(31C)을 포함할 뿐만 아니라 상기 플렉서블 멤브레인(30)에 형성된 다수의 도전성 트랙들(33A, 33B)도 포함하되, 상기 도전성 트랙들(33A, 33B) 각각은 상기 콘택 패드들(31A, 31B) 중 하나를 상기 콘택 구조들(31C) 중 하나와 전기적으로 접속시키며, 상기 플렉서블 멤브레인(30)은 상기 중앙부(30A)와 상기 주변부(30C) 사이에 배열 및 연결된 중간부(30B)를 더 포함한다. 적절하게는, 상기 탄성 멤브레인은 제1 총 두께(HA)를 갖는 제1 영역(34A)과 제2 총 두께(HB)를 갖는 제2 영역(34B)으로 나뉘어 있되, 상기 제1 영역(34A)은 상기 제2 영역(34B)에 근접 및 인접해 있고, 상기 제1 총 두께(HA)는 75㎛ 이하의 값을 갖고, 상기 제2 총 두께(HB)는 상기 제1 총 두께(HA)의 값보다 큰 값을 갖는다. 또한, 상기 멤브레인(30)의 상기 제1 영역(34A)은 상기 중앙부(30A)에서 연장되어 있고 상기 다수의 콘택 패드들(31A, 31B)을 포함한다. 이 플렉서블 멤브레인(30)을 포함하는 전자 소자 테스트용 프로브 카드(20)도 역시 설명된다. A flexible membrane adapted to carry high-frequency power signals is described having a plurality of contact pads in a central portion of the flexible membrane connected to a plurality of micro contact probes and a plurality of contact structures connected to a support plate in a peripheral portion of the flexible membrane, as well as a plurality of conductive tracks connecting the contact pads with the contact structures. The flexible membrane further includes an intermediate portion between the central and peripheral portions. The elastic membrane is divided into a first area having a first total thickness and into a second area having a second total thickness. The first area is contiguous and adjacent to the second area. The first total thickness is less than or equal to 75 μm and the second total thickness is greater than the first total thickness.