Architecture for large active area high speed detector

• Main Authors: LAI RUI LING, WANG YONGXIN, DONG ZHONGHUA
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 24.07.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

검출기들 및 검출 시스템들이 개시된다. 기판이 제 1 복수의 감지 요소들 및 제 2 복수의 감지 요소들을 포함하는 복수의 감지 요소들(311 내지 313)을 포함하고, 복수의 섹션들(321 내지 324)이 제 1 복수의 감지 요소들을 출력에 연결하고 제 2 복수의 감지 요소들을 출력에 연결하도록 구성된다. 스위칭 구역들이 감지 요소들 사이에 제공될 수 있고, 이는 2 이상의 감지 요소들을 연결하도록 구성된다. 스위칭 구역은 사전설정된 양의 에너지 및/또는 빔 세기로 전자들을 수용하는 감지 요소들에 응답하여 발생되는 신호들에 기초하여 제어될 수 있다. Detectors and detection systems are disclosed. According to certain embodiments, a substrate comprises a plurality of sensing elements including a first plurality of the sensing elements and a second plurality of the sensing elements, and a plurality of sections configured to connect the first plurality to an output, and connect the second plurality to an output. Switching regions may be provided between the sensing elements that are configured to connect two or more sensing elements. The switching region may be controlled based on signals generated in response to the sensing elements receiving electrons with a predetermined amount of energy and/or beam intensity.