전자 소자를 테스트하기 위한 대형 프로브 헤드 및 관련 제조방법

• Main Author: MAGGIONI FLAVIO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 19.07.2023
• Subjects: MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; TESTING

피검 소자(DUT)의 기능성 테스트를 위한 프로브 헤드(50)를 제조하는 방법이 여기에 개시된다. 상기 방법은, 격납 요소(55)를 제공하는 단계, 테스트 동안 상기 피검 소자(DUT)를 향하게 되는 상기 격납 요소(55)의 하부 면(Fa')에 하부 가이드(60)를 배열하는 단계, 및 상기 하부 면(Fa')의 반대편에 있는 상기 격납 요소(55)의 상부 면(Fb')에 상부 가이드(70)를 배열하는 단계를 포함하고, 상기 격납 요소(55)는 상기 하부 가이드(60)와 상기 상부 가이드(70) 사이에 개재되고, 상기 가이드들(60, 70)은 처음에는 상기 격납 요소(55)에 연결된 적어도 하나의 단일 플레이트 형태이다. 적절하게는, 상기 방법은, 상기 하부 가이드(60)와 상기 상부 가이드(70) 중 적어도 하나를 절단함으로써 서로 독립적이고 분리되어 있는 다수의 가이드 부분들(60p, 70p)을 정의하는 단계 및 상기 피검 소자(DUT)의 패드들(P)에 콘택할 수 있는 다수의 콘택 요소들(51)을 상기 가이드들(60, 70)에 형성된 각각의 가이드 홀들(60h, 70h) 내로 삽입하는 단계를 더 포함한다. 상기 방법에 의해 얻어지는 프로브 헤드(50) 역시도 개시된다. A method for manufacturing a probe head for the functionality testing of devices under test (DUT) is disclosed. The method includes providing a containment element, arranging a lower guide at a lower face of the containment element which faces toward the devices under test during the test, and arranging an upper guide at an upper face of the containment element. The containment element is interposed between the lower and upper guides which are initially in the shape of a single plate connected to the containment element. The method further includes cutting the lower and/or upper guide thereby defining a plurality of guide portions that are independent and separated from each other, and inserting a plurality of contact elements into respective guide holes formed in the guides. The contact elements are adapted to contact pads of the devices under test. A probe head obtained by the method is also disclosed.