멀티-웨이퍼 통합 VCSEL-전자 모듈

• Main Authors: STOKES JAMIE, BURROUGHS SCOTT, AL ABBAS TAREK, CALDER NEIL, FINKELSTEIN HOD
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 19.07.2023
• Subjects: ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; DEVICES USING STIMULATED EMISSION; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION ORRERADIATION OF RADIO WAVES; MEASURING; PHYSICS; RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

조명 장치는 제1 반도체 층 내에 또는 제1 반도체 층 상에 전기적으로 상호접속되는 복수의 이미터들을 포함하는 제1 반도체 층, 및 적층 배열로 제1 반도체 층에 본딩되는 제2 반도체 층을 포함한다. 제2 반도체 층은 제1 반도체 층과 제2 반도체 층 사이의 본딩 인터페이스에서 복수의 이미터들 중 각각의 이미터들 또는 서브셋들에 전기적으로 연결된 복수의 트랜지스터들을 포함한다. 관련 시스템들 및 제조 방법들이 또한 논의된다. An illumination apparatus includes a first semiconductor layer comprising a plurality of emitters that are electrically interconnected in or on the first semiconductor layer, and a second semiconductor layer that is bonded to the first semiconductor layer in a stacked arrangement. The second semiconductor layer comprises a plurality of transistors that are electrically connected to respective emitters or subsets of the plurality of emitters at a bonding interface between the first and second semiconductor layers. Related systems and methods of fabrication are also discussed.