막 세정액 및 막의 세정 방법
용매와 금속 제거제를 함유하는 막 세정액으로서, 2 종 이상의 용매를 포함하고, 막 세정액의 한센 용해도 파라미터와 디메틸아세트아미드의 한센 용해도 파라미터의 거리가, 1.0 이하인, 막 세정액. A film cleaning solution that contains a solvent and a metal removing agent, in which two or more kinds of the solvents are contained, and a distance between a Hansen solubility parameter of...
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Format | Patent |
Language | Korean |
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18.07.2023
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Summary: | 용매와 금속 제거제를 함유하는 막 세정액으로서, 2 종 이상의 용매를 포함하고, 막 세정액의 한센 용해도 파라미터와 디메틸아세트아미드의 한센 용해도 파라미터의 거리가, 1.0 이하인, 막 세정액.
A film cleaning solution that contains a solvent and a metal removing agent, in which two or more kinds of the solvents are contained, and a distance between a Hansen solubility parameter of the film cleaning solution and a Hansen solubility parameter of dimethylacetamide is 1.0 or less. |
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Bibliography: | Application Number: KR20237015240 |