REPLACEABLE AND/OR COLLAPSIBLE EDGE RING ASSEMBLIES FOR PLASMA SHEATH TUNING INCORPORATING EDGE RING POSITIONING AND CENTERING FEATURES
기판 지지부를 위한 제 1 에지 링이 제공된다. 제 1 에지 링은 환형으로 성형된 바디 및 하나 이상의 리프트 핀 수용 엘리먼트들을 포함한다. 환형으로 성형된 바디는 기판 지지부의 상부 부분을 둘러싸도록 사이즈가 정해지고 성형된다. 환형으로 성형된 바디는 상부 표면, 하부 표면, 방사상 내측 표면, 및 방사상 외측 표면을 형성한다. 하나 이상의 리프트 핀 수용 엘리먼트들은 환형으로 성형된 바디의 하부 표면을 따라 배치되고 3 개 이상의 리프트 핀들의 각각의 상단 단부들을 수용하고, 상단 단부들과 운동학적으로 커플링을 제공하도록 사이...
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Format | Patent |
Language | English Korean |
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13.07.2023
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Summary: | 기판 지지부를 위한 제 1 에지 링이 제공된다. 제 1 에지 링은 환형으로 성형된 바디 및 하나 이상의 리프트 핀 수용 엘리먼트들을 포함한다. 환형으로 성형된 바디는 기판 지지부의 상부 부분을 둘러싸도록 사이즈가 정해지고 성형된다. 환형으로 성형된 바디는 상부 표면, 하부 표면, 방사상 내측 표면, 및 방사상 외측 표면을 형성한다. 하나 이상의 리프트 핀 수용 엘리먼트들은 환형으로 성형된 바디의 하부 표면을 따라 배치되고 3 개 이상의 리프트 핀들의 각각의 상단 단부들을 수용하고, 상단 단부들과 운동학적으로 커플링을 제공하도록 사이즈가 정해지고 성형된다.
A first edge ring for a substrate support is provided. The first edge ring includes an annular-shaped body and one or more lift pin receiving elements. The annular-shaped body is sized and shaped to surround an upper portion of the substrate support. The annular-shaped body defines an upper surface, a lower surface, a radially inner surface, and a radially outer surface. The one or more lift pin receiving elements are disposed along the lower surface of the annular-shaped body and sized and shaped to receive and provide kinematic coupling with top ends respectively of three or more lift pins. |
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Bibliography: | Application Number: KR20237023024 |