하우징을 통해 연장되는 유체-충전식 배기 튜브들을 갖는 결정 인상 시스템들

• Main Authors: DIODA MAURO, SREEDHARAMURTHY HARIPRASAD, HARINGER STEPHAN, ZARDONI MARCO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 30.06.2023
• Subjects: AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUSPOLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR; CHEMISTRY; CRYSTAL GROWTH; METALLURGY; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITHDEFINED STRUCTURE; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITHDEFINED STRUCTURE; SINGLE-CRYSTAL-GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL ORUNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL

유체-냉각식 배기 튜브를 갖는 결정 인상 시스템들이 개시된다. 유체-냉각식 배기 튜브는 반응기 하우징을 통해 반응 챔버 내로 연장된다. 일부 실시예들에서, 배기 튜브는 결정 인상기 하우징의 최하부를 통해 그리고 잉곳 인상기 하우징 내의 최하부 열 차폐부를 통해 연장된다. Crystal pulling systems having a fluid-cooled exhaust tube are disclosed. The fluid-cooled exhaust tube extends through the reactor housing and into the reaction chamber. In some embodiments, the exhaust tube extends through the bottom of the crystal puller housing and through a bottom heat shield within the ingot puller housing.