저 금속 함량 폴리올레핀 필터 막

액체 정제를 위한 필터의 성분으로서 유용한 특정 폴리올레핀성 막이 제공된다. 유리하게는, 본 개시내용의 필터 막은 매우 감소된 농도의 특정 미량 금속을 보유하여, 마이크로전자 장치의 제조에 사용되는 액체의 여과에 특히 유용하다. 한 양태에서, 본 발명은 폴리올레핀을 포함하는 필터 막을 제공하며, 상기 폴리올레핀은 약 4 ppm 미만의 티타늄, 알루미늄, 철, 아연 및 마그네슘으로부터 선택된 총 금속을 갖는다. Provided are certain polyolefinic membranes which are useful as compo...

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Main Authors GONZALEZ CESAR LOPEZ, JABER JAD ALI
Format Patent
LanguageKorean
Published 28.06.2023
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Summary:액체 정제를 위한 필터의 성분으로서 유용한 특정 폴리올레핀성 막이 제공된다. 유리하게는, 본 개시내용의 필터 막은 매우 감소된 농도의 특정 미량 금속을 보유하여, 마이크로전자 장치의 제조에 사용되는 액체의 여과에 특히 유용하다. 한 양태에서, 본 발명은 폴리올레핀을 포함하는 필터 막을 제공하며, 상기 폴리올레핀은 약 4 ppm 미만의 티타늄, 알루미늄, 철, 아연 및 마그네슘으로부터 선택된 총 금속을 갖는다. Provided are certain polyolefinic membranes which are useful as components of filters for liquid purification. Advantageously, the filter membranes of the disclosure possess greatly reduced concentrations of certain trace metals, thus making them particularly useful in the filtration of liquids used in the fabrication of microelectronic devices. In one aspect, the disclosure provides a filter membrane comprising a polyolefin, wherein said polyolefin has less than about 4 ppm total of metals chosen from titanium, aluminum, iron, zinc, and magnesium.
Bibliography:Application Number: KR20237018204