MoO2Cl2 및 이의 제조방법

• Main Authors: EBERT TIMO, KARCH RALF, WOERNER EILEEN, FREY ANNIKA, DOPPIU ANGELINO, SCHORN WOLF, LAU NICHOLAS
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 20.06.2023
• Subjects: CHEMISTRY; COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSESC01D OR C01F; ELECTRICITY; INORGANIC CHEMISTRY; METALLURGY

본 발명은 불활성 분위기 하에서 MoO2Cl2를 제조하는 방법에 관한 것으로, 다음의 단계를 포함한다: (i) MoO2로 반응 용기를 충전하는 단계, (ii) 반응 용기에서 MoO2를 공급된 Cl2과 제1 온도 T1에서 반응시켜 기체 상태의 MoO2Cl2를 생성하는 단계, (iii) 기체 상태의 MoO2Cl2를 수용 용기로 옮기는 단계, (iv) 수용 용기에서 기체 상태의 MoO2Cl2를 T1 보다 낮은 제2 온도 T2 에서 재승화하여 고체 상태의 MoO2Cl2 를 제공하는 단계, (v) ICP-OES/MS로 결정된 순도 99.9996 wt% 이상의 고체 상태의 MoO2Cl2를 회수하는 단계. 또한, 본 발명은 고순도 MoO2Cl2, 이를 사용하는 전자 부품에 관한 것이다. The invention relates to a method for producing MoO2Cl2 under inert conditions, comprising the steps of:(i) charging a reaction vessel with MoO2,(ii) reacting the MoO2 with supplied Cl2 in the reaction vessel at a first temperature T1 to give gaseous MoO2Cl2,(iii) transferring the gaseous MoO2Cl2 into a receiving vessel,(iv) resublimating the gaseous MoO2Cl2 in the receiving vessel to give solid MoO2Cl2 at a second temperature T2 that is lower than T1, and(v) recovering solid MoO2Cl2 with a purity determined by ICP-OES/MS of 99.9996 wt. % or more.The invention also relates to high-purity MoO2Cl2, the use thereof, and electronic components.