고순도 가스를 전달하는 흡착제-유형의 저장 및 전달 용기, 및 관련 방법

• Main Authors: DESPRES JOSEPH R, STURM EDWARD A, SWEENEY JOSEPH
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 19.06.2023
• Subjects: BLASTING; CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED,LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; HEATING; LIGHTING; MECHANICAL ENGINEERING; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL; SEPARATION; STORING OF DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS; THEIR RELEVANT APPARATUS; TRANSPORTING; VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED ORSOLIDIFIED GASES; WEAPONS

게르만 시약 가스를 저장하고, 용기로부터 선택적인 분배를 위한 저장 및 분배 시스템 및 관련 방법이 기재되며, 이때 이러한 시약 가스는 저장 용기 내부의 고체 흡착제 매질에 대해 흡착 관계로 유지되고, 상기 방법 및 분배 시스템은 저장 용기로부터 시약 가스의 분배를 제공하며, 분배된 시약 가스에 감소된 수준의 대기 불순물이 함유된다. Described are storage and dispensing systems and related methods, for the storage and selective dispensing germane a reagent gas from a vessel in which the reagent gas is held in sorptive relationship to a solid adsorbent medium at an interior of a storage vessel and wherein the methods and dispensing systems provide dispensing of the reagent gas from the storage vessel with a reduced level of atmospheric impurities contained in the dispensed reagent gas.