Substrate support module and substrate processing apparatus having the same

• Main Author: LEE HEE WOON
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 15.06.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

The present invention relates to a substrate support module and a substrate processing device including the same and, more specifically, to a substrate support module for supporting a substrate and a substrate processing device including the same. The substrate support module for supporting a substrate (1) includes: a drive support pin part (200) provided to be rotatable in order to support the substrate (1); and a rotation drive part (300) rotating the drive support pin part (200) so that the drive support pin part (200) changes between an upright state capable of supporting the substrate (1) and a non-upright state in which contact with the substrate (1) is prevented. The rotation drive part (300) includes: a guide rotation shaft (310) installed to rotate integrally with the drive support pin part (200); and a rotation drive source (320) coupled to an end of the guide rotation shaft (310) to rotate the guide rotation shaft (310). 본 발명은 기판지지모듈 및 이를 포함하는 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 지지하는 기판지지모듈 및 이를 포함하는 기판처리장치에 관한 것이다. 본 발명은, 기판(1)을 지지하기 위한 기판지지모듈로서, 상기 기판(1)을 지지하기 위하여, 회전가능하도록 구비되는 구동지지핀부(200)와; 상기 구동지지핀부(200)가 상기 기판(1)에 대한 지지가 가능한 직립상태와 상기 기판(1)과의 접촉이 방지되는 비직립상태 사이에서 변화하도록, 상기 구동지지핀부(200)를 회전구동하는 회전구동부(300)를 포함하며, 상기 회전구동부(300)는, 상기 구동지지핀부(200)와 일체로 회전하도록 설치되는 가이드회전축(310)과, 상기 가이드회전축(310)의 끝단에 결합하여 상기 가이드회전축(310)을 회전구동하는 회전구동원(320)을 포함하는 기판지지모듈을 개시한다.