정전 척에 대한 실시간 바이어스 검출 및 정정

• Main Authors: ROCHA ALVAREZ JUAN CARLOS, DZILNO DMITRY A, LI JIAN
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 14.06.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

방법은 정전 척의 2개의 전극들에 의해 척의 최상부에 배치된 기판에 인가되는 척킹력들의 차이를 감소시킨다. 방법은 2개의 전극들 각각에 초기 척킹 전압들을 제공하는 단계, 및 2개의 전극들 중 적어도 제1 전극에 제공된 초기 전류를 측정하는 단계를 포함한다. 방법은 기판의 DC 전압에 영향을 미치는 프로세스를 개시하고, 그 후 적어도 제1 전극에 제공된 수정된 전류를 측정하는 단계, 및 적어도 초기 전류 및 수정된 전류에 기초하여, 2개의 전극들 중 선택된 전극에 대한 수정된 척킹 전압을 결정하는 단계 - 수정된 척킹 전압은 기판에 걸친 척킹력 임밸런스를 감소시킴 - 를 더 포함한다. 방법은 또한 2개의 전극들 중 선택된 전극에 수정된 척킹 전압을 제공하는 단계를 포함한다. A chucking system reduces differences in chucking forces that are applied by two electrodes of an electrostatic chuck, to a substrate disposed atop the chuck. Initial chucking voltages are applied to each of two electrodes, and an initial current provided to at least a first electrode of the two electrodes is measured. A process is initiated that affects a DC voltage of the substrate, then a modified current provided to at least the first electrode is measured. A modified chucking voltage for a selected one of the two electrodes is determined that will reduce chucking force imbalance across the substrate based at least on the initial current and the modified current. The modified chucking voltage is then provided to the selected one of the two electrodes.