HiPIMS에 의해 향상된 접착력을 갖는 경질 탄소 코팅 및 그 제조방법

• Main Authors: KERAUDY JULIEN, GUIMOND SEBASTIEN, DRABIK MARTIN, KRASSNITZER SIEGFRIED
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 08.06.2023
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

본 발명은 높은 하중을 받거나 극심한 마찰, 마모와 더불어 다른 부품과의 접촉을 받는 부품 및 도구에 대한 접착력을 향상시키기 위한 경질 탄소 코팅 및 그 제조방법에 관한 것이다. 기판 표면에 직접 증착되는 접착 촉진층과 상부 경질 탄소 코팅 사이에 금속 카바이드 전이층이 제공된다. 금속 카바이드 전이층은 더 조밀한 미세 구조 및 개선된 기계적 특성을 가지며, 이에 의해 박리로 인한 파손을 방지하도록 구성된다. A hard carbon coating and a method to improve its adhesion on components and tools subjected to high loads or subjected to extreme friction, wear and contact with other parts. The metal carbide transition layer is situated between the adhesivepromoting layer deposited directly onto the substrate surface and a top hard carbon coating. The metal carbide transition layer has a denser microstructure and improved mechanical properties in order to resist failure by spalling.