robot having arm with unequal link lengths

• Main Author: HOSEK MARTIN
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 07.06.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; HAND TOOLS; MANIPULATORS; PERFORMING OPERATIONS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

적어도 하나의 구동부; 제 1 상부 아암, 제 1 포어아암 및 제 1 단부 작동체를 가진 제 1 로봇을 구비하는 장치가 개시된다. 제 1 상부 아암은 제 1 회전축에서 적어도 하나의 구동부에 연결된다. 제 2 로봇 아암은 제 2 상부 아암, 제 2 포어아암 및 제 2 단부 작동체를 가진다. 제 2 상부 아암은 제 1 회전축으로부터 이격된 제 2 회전축에서 적어도 하나의 구동부에 연결된다. 제 1 및 제 2 로봇 아암들은, 단부 작동체들사엥 위치된 기판들이 적어도 부분적으로 하나가 다른 하나의 위에 적재되도록 제 1 수축 위치들에 단부 작동체들을 위치시키게끔 구성된다. 제 1 및 제 2 로봇 아암들은, 적어도 부분적으로 하나가 다른 하나의 위에 위치된 평행한 제 1 경로들을 따른 제 1 방향에서 제 1 수축 위치들로부터 단부 작동체들을 신장시키도록 구성된다. An apparatus including at least one drive; a first robot arm having a first upper arm, a first forearm and a first end effector. The first upper arm is connected to the at least one drive at a first axis of rotation. A second robot arm has a second upper arm, a second forearm and a second end effector. The second upper arm is connected to the at least one drive at a second axis of rotation which is spaced from the first axis of rotation. The first and second robot arms are configured to locate the end effectors in first retracted positions for stacking substrates located on the end effectors at least partially one above the another. The first and second robot arms are configured to extend the end effectors from the first retracted positions in a first direction along parallel first paths located at least partially directly one above the other.