Image sensor comprising a refractive structure

• Main Authors: PARK MISEON, KIM JINGYUN, LEE JAEWOONG, NOH JONGHYEON, KIM KOOK TAE
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 07.06.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

An image sensor is provided. The image sensor comprises: a substrate including a first surface and a second surface opposite to each other; an interlayer insulation layer covering the first surface; and a pixel separation part disposed in the substrate and dividing unit pixels from each other, The pixel separation part includes: a conductive structure that extends from the first surface toward the second surface; a first reflective structure disposed between the conductive structure and the substrate; and a buried insulation pattern disposed between the conductive structure and the interlayer insulation layer and between the first reflective structure and the interlayer insulation layer. The first reflective structure includes first reflective liners and second reflective liners that are alternately disposed toward the conductive structure from the lateral surface of the substrate, wherein the refractive index of the first reflective liners is different from the refractive index of the second reflective liners. An image sensor capable of implementing clear image quality may be provided. 이미지 센서를 제공한다. 이 이미지 센서는 서로 반대되는 제1 면 및 제2 면을 갖는 기판; 상기 제1 면을 덮는 층간절연막; 및 상기 기판 내에 배치되며 단위 화소들을 분리하는 화소 분리부를 포함하되, 상기 화소 분리부는: 상기 제1 면으로부터 상기 제2 면을 향하여 연장되는 도전 구조체, 상기 도전 구조체와 상기 기판 사이에 개재되는 제1 반사 구조체, 및 상기 도전 구조체와 상기 층간절연막 사이 그리고 상기 제1 반사 구조체와 상기 층간절연막 사이에 개재되는 매립 절연 패턴을 포함하고, 상기 제1 반사 구조체는 상기 기판의 측면으로부터 상기 도전 구조체를 향하여 서로 교대로 배치되는 제1 반사 라이너들과 제2 반사 라이너들을 포함하며, 상기 제1 반사 라이너들의 굴절률은 상기 제2 반사 라이너들의 굴절률과 다르다.