Mask sheet sticking device for micro display panel deposition

• Main Author: SONG JUN HWAN
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 25.05.2023
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

The present invention relates to a mask sheet attaching device for depositing a micro display panel. According to the present invention, the mask sheet attaching device for depositing a micro display panel attaches a mask sheet on a substrate while being installed in a deposition chamber. The mask sheet attaching device comprises: a mask frame disposed on the lower part of a substrate and horizontally supporting the outer part of a mask sheet; and a plate-shaped magnet plate installed on the upper part of the substrate to be lifted and lowered, applying magnetic force to the mask sheet on the lower part of the substrate to induce the mask sheet to adhere to the lower part of the substrate, and outputting magnetic force of partially different magnetic flux densities. Accordingly, the mask sheet is stably bonded to the substrate while an ultra-thin mask sheet with steps is used, thereby implementing excellent deposition quality and increasing product yield and performance. 본 발명은 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치에 관한 것이다. 이는, 증착챔버내에 설치된 상태로 기판상에 마스크시트를 합치시키는 것으로서, 상기 기판의 하부에 위치하고 마스크시트의 외곽부를 받쳐 수평 지지하는 마스크프레임과; 기판의 상부에 승강 가능하도록 설치되며, 기판하부의 마스크시트에 자기력을 가하여 마스크시트가 기판의 저면에 밀착되도록 유도하되, 부분적으로 상이한 자속밀도의 자기력을 출력하는 판상의 마그네트플레이트를 구비하는 것을 특징으로 한다. 상기와 같이 이루어지는 본 발명의 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치는, 단차가 있는 초박형 마스크시트를 사용함에도 불구하고, 기판에 대한 마스크시트의 합착을 안정적으로 구현함으로써, 뛰어난 증착 품질을 구현하며, 제품의 수율 및 성능을 향상시킬 수 있게 한다.