FOREIGN SUBSTANCE INSPECTION APPARATUS EXPOSURE APPARATUS AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD

• Main Author: MAEDA KOHEI
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 17.05.2023
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MATERIALS THEREFOR; MEASURING; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; TESTING

A foreign substance device for detecting whether a foreign substance exists in an inspection area of an object to be inspected comprises: a light reception unit receiving scattering light from the foreign substance by illuminating the foreign substance by the light from a light source; and a determination unit determining whether a signal indicating a light quantity where the light is received by the light reception unit exists within an allowance value and determining that the foreign substance exists in the inspection area when the signal is outside the allowance value. The determination unit changes the allowance value based on an illumination condition where the light from the light source illuminates the inspection area. 피검사물의 검사 영역에 있어서의 이물의 유무를 검출하는 이물 검사 장치이며, 광원으로부터의 광으로 이물을 조명함으로써 발생하는 해당 이물로부터의 산란광을 수광하는 수광부와, 상기 수광부에서 수광된 광량을 나타내는 신호가 허용값 내인지의 여부를 판정하고, 상기 신호가 허용값 외인 경우에는 상기 검사 영역에 이물이 있음을 판정하는 판정부를 갖고, 상기 판정부는, 상기 광원으로부터의 광이 상기 검사 영역을 조명하는 조명 조건에 기초하여, 상기 허용값을 변경한다.