캐리어 측정 장치, 캐리어 측정 방법 및, 캐리어 관리 방법

• Main Authors: KUROIWA TAKESHI, TAKAI HIROSHI, KIDO RYOSUKE
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 11.05.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS; GRINDING; MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; PERFORMING OPERATIONS; POLISHING; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

캐리어 측정 장치(1)는, 회전 테이블(23)과, 테이블 구동 모터(24)와, 상부 두께 센서(41) 및 하부 두께 센서(42)와, 슬라이딩부(13)를 구비한다. 회전 테이블(23)은, 반도체 웨이퍼를 보유지지하는 홀(21A)이 편심하여 형성된 캐리어(21)를 수평으로 수용하는 캐리어 수용부(23A)를 갖는다. 테이블 구동 모터(24)는, 회전 테이블(23)을 그의 중심축을 회전축으로 하여 회전시킨다. 상부 두께 센서(41) 및 하부 두께 센서(42)는, 캐리어(21)의 상방 및 하방에 배치되고, 캐리어(21)의 두께를 비접촉으로 측정한다. 슬라이딩부(13)는, 회전 테이블(23)을 수평 방향으로 슬라이딩시킨다. 캐리어 수용부(23A)는, 홀(21A)의 중심과 회전 테이블(23)의 중심이 일치하도록 캐리어(21)를 수용 가능하게 형성되어 있다. A carrier measuring device includes a rotary table, a table drive motor, an upper thickness sensor, a lower thickness sensor and a slide unit. The rotary table includes a carrier receiver configured to horizontally house a carrier formed with a hole in which a semiconductor wafer is held, the hole being eccentric with respect to the carrier. The table drive motor rotates the rotary table around a center axis thereof as a rotation axis. The upper thickness sensor and the lower thickness sensor are positioned above and below the carrier, respectively, and measure a thickness of the carrier in a non-contact manner. The slide unit slides the rotary table in a horizontal direction. The carrier receiver is formed to be capable of housing the carrier in a manner that a center of the hole coincides with a center of the rotary table.