Cartridge locking apparatus for multi prober

• Main Authors: MO SEUNG KEE, NAM KYUNG TAE, CHOO SUNG WON
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 08.05.2023
• Subjects: MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; TESTING

Provided is a cartridge locking device for a multi-prober. In accordance with the present invention, the cartridge locking device, which is provided to lock a card assembly and a chuck assembly of a cartridge including the card assembly including a probe card having a plurality of probes and the chuck assembly on which a wafer is placed, includes: a locking member interlocking the lower end of the card assembly and the upper end of the chuck assembly to generate a locking force to integrate the card assembly, the wafer and the chuck assembly; and an elastic stopper equipped with at least one elastic body disposed between a fixed member installed and fixed to the chuck assembly and a moving member locked to the fixed member to be vertically movable to elastically support the moving member toward the card assembly, thereby generating an elastic force to cause the probes to elastically come in contact with the wafer while maintaining a distance between the probes and the wafer when in contact with the card assembly. Therefore, the present invention is capable of efficiently performing a wafer inspection process without causing a contact failure. 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치를 제공한다. 본 발명은 복수의 탐침을 갖는 프로브 카드를 포함하는 카드조립체와, 웨이퍼가 올려져 배치되는 척조립체를 포함하는 카트리지에서 상기 카드조립체와 척조립체를 락킹하는 장치에 있어서, 상기 카드조립체의 하부단과 상기 척조립체의 상부단을 상호 걸림연결하여 상기 카드조립체, 웨이퍼 및 척조립체를 일체화시키는 잠금력을 발생시키는 락킹부 ; 상기 척조립체에 고정설치되는 고정부재와 상기 고정부재에 상하이동가능하게 구속되는 가동부재와의 사이에 배치되어 상기 가동부재를 카드조립체 측으로 탄력지지하는 적어도 하나의 탄성체를 갖추어 상기 카드조립체와의 접촉시 상기 탐침과 웨이퍼사이의 거리를 유지하면서 상기 탐침이 웨이퍼에 탄력적으로 접하도록 탄성력을 발생시키는 탄성스토퍼를 포함한다.