Rotational coating device

본 발명의 회전 코팅 장치는 일 측으로 개방된 안착공간과, 상기 안착공간과 연통되는 관통홀이 형성된 척; 상기 척의 일 측에 결합되어 상기 안착공간을 폐쇄시키는 탑커버; 상기 관통홀을 통해 상기 안착공간으로 승강되어 웨어퍼를 상기 척에 안착시키는 포크핀; 및 상기 관통홀에 개폐시키는 차폐부;를 포함하고, 상기 차폐부는 상기 포크핀이 코팅부재를 안착시킨 후 상기 척의 외측으로 하강되면 상기 관통홀을 폐쇄하여 외기가 상기 안착공간으로 유입되는 것을 방지하여 제품의 품질을 크게 향상시킨다....

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Bibliographic Details
Main Author LEE JIN WOO
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 24.04.2023
Subjects
APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
CINEMATOGRAPHY
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
ELECTROGRAPHY
HOLOGRAPHY
MATERIALS THEREFOR
ORIGINALS THEREFOR
PHOTOGRAPHY
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES
PHYSICS
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Summary:본 발명의 회전 코팅 장치는 일 측으로 개방된 안착공간과, 상기 안착공간과 연통되는 관통홀이 형성된 척; 상기 척의 일 측에 결합되어 상기 안착공간을 폐쇄시키는 탑커버; 상기 관통홀을 통해 상기 안착공간으로 승강되어 웨어퍼를 상기 척에 안착시키는 포크핀; 및 상기 관통홀에 개폐시키는 차폐부;를 포함하고, 상기 차폐부는 상기 포크핀이 코팅부재를 안착시킨 후 상기 척의 외측으로 하강되면 상기 관통홀을 폐쇄하여 외기가 상기 안착공간으로 유입되는 것을 방지하여 제품의 품질을 크게 향상시킨다.
Bibliography:Application Number: KR20210137780