압전 애플리케이션들을 위한 증착 방법들 및 장치

압전 애플리케이션들을 위해 기판(201) 상에 균일한 층을 증착하기 위한 방법들 및 장치가 개시된다. 중앙으로부터 에지까지 균일한 두께를 갖는 초박형 시드 층(308)이 기판(201) 상에 증착된다. 후속적으로 형성된 압전 재료 층(312)의 결정 구조와 밀접하게 매칭되는 템플릿 층(310)이 기판(201) 상에 증착된다. 시드 층(308) 및 템플릿 층(310)의 균일한 두께 및 배향은 결국, 개선된 결정화도(crystallinity) 및 압전 성질들을 갖는 압전 재료들의 성장을 용이하게 한다. Disclosed are metho...

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Main Authors XUE YUAN, SANGLE ABHIJEET LAXMAN, SHARMA VIJAY BHAN, PAI UDAY, KADAM ANKUR, RAMAKRISHNAN BHARATWAJ, PATIL NILESH
Format Patent
LanguageKorean
Published 18.04.2023
Subjects
ELECTRICITY
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Summary:압전 애플리케이션들을 위해 기판(201) 상에 균일한 층을 증착하기 위한 방법들 및 장치가 개시된다. 중앙으로부터 에지까지 균일한 두께를 갖는 초박형 시드 층(308)이 기판(201) 상에 증착된다. 후속적으로 형성된 압전 재료 층(312)의 결정 구조와 밀접하게 매칭되는 템플릿 층(310)이 기판(201) 상에 증착된다. 시드 층(308) 및 템플릿 층(310)의 균일한 두께 및 배향은 결국, 개선된 결정화도(crystallinity) 및 압전 성질들을 갖는 압전 재료들의 성장을 용이하게 한다. Disclosed are methods and apparatus for depositing uniform layers on a substrate (201) for piezoelectric applications. An ultra-thin seed layer (308) having a uniform thickness from center to edge thereof is deposited on a substrate (201). A template layer (310) closely matching the crystal structure of a subsequently formed piezoelectric material layer (312) is deposited on a substrate (201). The uniform thickness and orientation of the seed layer (308) and the template layer (310), in turn, facilitate the growth of piezoelectric materials with improved crystallinity and piezoelectric properties.
Bibliography:Application Number: KR20237009695