다수의 층들을 사용하는 재귀적 흐름 가스 분배 스택의 제조

방법은 복수의 금속 플레이트들과 연관되는 하나 이상의 파라미터들을 수신하는 것을 포함한다. 방법은, 하나 이상의 파라미터들에 기초하여, 복수의 금속 플레이트들과 연관되는 복수의 예측된 변형 값들을 결정하는 것을 더 포함한다. 복수의 예측된 변형 값들 각각은 복수의 금속 플레이트들 중 대응하는 금속 플레이트에 대응한다. 방법은, 본딩된 금속 플레이트 구조물을 생성하도록, 복수의 예측된 변형 값들에 기초하여, 복수의 금속 플레이트들이 확산 본딩되게 하는 것을 더 포함한다. A method includes receiving one or...

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Main Authors AGARWAL SUMIT, SUBRAMANI ANANTHA K, GUO YANG, CHANDRASEKAR SIVA
Format Patent
LanguageKorean
Published 31.03.2023
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