SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE

• Main Authors: NAKUI YUKI, MAKI HIROSHI, OKAMOTO NAOKI, SAITO AKIRA, OKUBO TATSUYUKI, YOKOMORI TSUYOSHI
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 27.03.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

The purpose of the present invention is to provide a semiconductor manufacturing apparatus that can easily change thrust-up sequences. The semiconductor manufacturing apparatus comprises: a thrust-up unit having a plurality of blocks in contact with a dicing tape; a head having a collet adsorbing the die and capable of being moved up and down; and a control part for controlling the operation of the thrust-up unit and the head. The thrust-up unit is configured to be able to operate each of the plurality of blocks independently. The control part configures the thrust-up sequences of the plurality of blocks in a plurality of steps and is configured to control the operation of the plurality of blocks based on a time chart recipe capable of setting the height and the speed of the plurality of blocks for each block and in each step. 밀어 올리기 시퀀스의 변경이 용이한 반도체 제조 장치를 제공하는 데 있다. 반도체 제조 장치는, 다이싱 테이프와 접촉하는 복수의 블록을 갖는 밀어 올리기 유닛과, 상기 다이를 흡착하는 콜릿을 갖고, 상하 이동이 가능한 헤드와, 상기 밀어 올리기 유닛 및 상기 헤드의 동작을 제어하는 제어부를 구비한다. 상기 밀어 올리기 유닛은, 상기 복수의 블록의 각각이 독립적으로 동작이 가능하도록 구성된다. 상기 제어부는, 상기 복수의 블록의 밀어 올리기 시퀀스를 복수의 스텝으로 구성하고, 상기 복수의 블록의 높이 및 속도를 블록별 및 스텝별로 설정 가능한 타임차트 레시피에 기초하여 상기 복수의 블록의 동작을 제어하도록 구성된다.