반도체 장치의 제조 방법, 이상 예조 검지 방법, 이상 예조 검지 프로그램 및 기판 처리 장치

• Main Authors: TACHI YUTA, SAKAI MASANORI, KAJI RYUICHI, KAWAGISHI TAKAYUKI, YAMAMOTO KAZUYOSHI
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 23.03.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; CONTROLLING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS ORELEMENTS; PHYSICS; REGULATING; SEMICONDUCTOR DEVICES

복수의 스텝을 포함하는 프로세스 레시피를 실행시켜서 기판을 처리하는 기술로서, 상기 프로세스 레시피를 실행하면서, 상기 기판을 처리하는 처리실의 분위기를 배기하는 부재의 진동 데이터를 진동 센서로부터 취득하는 진동 데이터 취득 공정; 및 취득한 상기 진동 데이터에 기초하여, 상기 부재의 회전 주파수에서의 진동의 크기와 상기 회전 주파수의 정수배의 대비 주파수에서의 진동의 크기의 비율이 미리 설정된 이상 예조 임계값을 초과하는 경우에 이상 예조 있음을 검지하는 이상 예조 검지 공정을 포함하는 기술이 제공된다. Provided is a technique of processing a substrate by executing a process recipe including a plurality of steps, the technique including: (a) acquiring vibration data of a member that exhausts an atmosphere in a process chamber that processes the substrate from a vibration sensor while executing the process recipe; and (b) detecting presence of an abnormality sign in a case where a ratio between a magnitude of vibration at a rotation frequency of the member and a magnitude of vibration at a comparison frequency that is an integral multiple of the rotation frequency exceeds a preset abnormality sign threshold on the basis of the acquired vibration data.