DEFECT INSPECTING SYSTEM AND DEFECT INSPECTING METHOD

• Main Authors: SHINDO HIROYUKI, ISHIKAWA MASAYOSHI, SANO YUKO
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 22.03.2023
• Subjects: CALCULATING; COMPUTER SYSTEMS BASED ON SPECIFIC COMPUTATIONAL MODELS; COMPUTING; COUNTING; IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

The present invention provides a defect inspecting system enabling inspection of high efficiency by absorbing difference in inspection image due to the difference of an imaging condition or having a filter model commonly used in each inspection process. The defect inspecting system (100) includes: a defect detecting unit (104) detecting a defect position in the inspection image by comparing the inspection image (4) and a reference image which is an image without a defect; a filter condition maintaining unit (106) maintaining a filter condition and a filter model classifying the detected defect position into wrong information or a designated defect kind; a defect area extracting unit grouping the defect position defected by the defect detecting unit (104) into one group within predetermined distance; a defect filter unit (105) extracting only a corresponding defect area by determining whether each defect area corresponds to the filter condition; and a normalization unit (101) performing normalization based on a processing process in the inspection of the inspection image (4) and a normalization condition which is set in each imaging condition or each processing process. 촬상 조건의 차이에 따른 검사 화상의 차를 흡수하고, 또는 각 검사 공정에서 공통으로 사용되는 필터 모델을 가짐으로써 고효율의 검사를 가능하게 할 수 있는 결함 검사 시스템을 제공한다. 결함 검사 시스템(100)은, 검사 화상(4)과 결함을 갖지 않는 화상인 참조 화상을 비교하여 검사 화상 내의 결함 위치를 검출하는 결함 검출부(104), 검출된 결함 위치를 잘못된 정보 혹은 지정된 결함종으로 분류하는 필터 모델, 필터 조건을 유지하는 필터 조건 유지부(106), 결함 검출부(104)에서 검출한 결함 위치를 소정의 거리 내마다 한묶음으로 한 결함 영역 추출부, 결함 영역마다 필터 조건에 해당하는지 여부를 판정하고 해당하는 결함 영역만을 추출하는 결함 필터부(105) 및 검사 화상(4)을 검사 시의 가공 공정과 가공 공정마다 또는 촬상 조건마다 설정한 정규화 조건에 기초하여 정규화를 행하는 정규화부(101)를 갖는다.