샘플의 파라미터 측정을 제어하기 위한 시스템 및 방법

• Main Authors: BRINGOLTZ BARAK, SHLAGMAN OFER, TAL NOAM, YACOBY RAN
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 13.03.2023
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CALCULATING; CINEMATOGRAPHY; COMPUTER SYSTEMS BASED ON SPECIFIC COMPUTATIONAL MODELS; COMPUTING; COUNTING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

다양한 샘플의 파라미터의 측정을 제어하기 위한 시스템 및 방법이 제공된다. 시스템은 데이터 입력 및 출력 유틸리티, 메모리, 및 데이터 프로세서를 포함하는 컴퓨터 시스템으로서 구성되며, 샘플에 대한 측정을 나타내는 측정 데이터를 수신하기 위해 측정 데이터 제공기와 통신하도록 구성된다. 상기 데이터 프로세서는 적어도 하나의 지정 모델을 이용한 측정 데이터의 모델 기반 처리를 수행하고, 샘플의 하나 이상의 관심 파라미터의 하나 이상의 측정치 각각에 대해, 측정치에 대한 오차 값의 추정 상한을 개별적으로 결정하고, 상기 추정 상한을 나타내는 출력 데이터를 생성하도록 구성된다. A system and method are presented for controlling measurements of various sample's parameters. The system comprises a control unit configured as a computer system comprising data input and output utilities, memory, and a data processor, and being configured to communicate with a measured data provider to receive measured data indicative of measurements on the sample. The data processor is configured to perform model-based processing of the measured data utilizing at least one predetermined model, and determine, for each of one or more measurements of one or more parameters of interest of the sample, an estimated upper bound on an error value for the measurement individually, and generate output data indicative thereof.