내침식성 금속 플루오르화 코팅된 물건들, 이들의 제조 방법 및 사용 방법

본 개시내용의 실시예들은 M1xFw, M1xM2yFw, 또는 M1xM2yM3zFw의 화학식을 갖는 적어도 하나의 플루오르화 금속을 포함하는 금속 플루오르화 코팅을 갖는 물건들, 코팅된 챔버 컴포넌트들, 챔버 컴포넌트들을 코팅하는 방법과 시스템들에 관한 것이며, 여기서, M1, M2, 또는 M3 중 적어도 하나는 니켈이다. 금속 플루오르화 코팅은 기판 상에 또는 기판의 코팅 상에 직접 형성될 수 있다. Embodiments of the disclosure relate to articles, coated chamber component...

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Main Authors DUAN REN GUAN, MORI GLEN T, BEAUDRY CHRISTOPHER LAURENT
Format Patent
LanguageKorean
Published 27.02.2023
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
ELECTRICITY
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Summary:본 개시내용의 실시예들은 M1xFw, M1xM2yFw, 또는 M1xM2yM3zFw의 화학식을 갖는 적어도 하나의 플루오르화 금속을 포함하는 금속 플루오르화 코팅을 갖는 물건들, 코팅된 챔버 컴포넌트들, 챔버 컴포넌트들을 코팅하는 방법과 시스템들에 관한 것이며, 여기서, M1, M2, 또는 M3 중 적어도 하나는 니켈이다. 금속 플루오르화 코팅은 기판 상에 또는 기판의 코팅 상에 직접 형성될 수 있다. Embodiments of the disclosure relate to articles, coated chamber components, methods of coating chamber components and systems with a metal fluoride coating that includes at least one metal fluoride having a formula of M1xFw, M1xM2yFw or M1xM2yM3zFw, where at least one of M1, M2, or M3 is nickel. The metal fluoride coating can be formed directly on a substrate or on a coating of a substrate.
Bibliography:Application Number: KR20237003059