엔드포인트 검출 시스템들을 위한 조정 가능한 애크로매틱 콜리메이터 어셈블리

• Main Authors: UMMETHALA UPENDRA, KUTNEY MICHAEL, LIAN LEI, O'MALLEY JOHN ANTHONY, HAN PENGYU, GRIMBERGEN MICHAEL N
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 23.02.2023
• Subjects: OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS

개시된 구현들은 콜리메이터 하우징을 갖는 콜리메이터 어셈블리를 설명하는데, 콜리메이터 하우징은 타깃 표면을 갖는 프로세스 챔버에 광학적으로 결합하도록 구성된 인터페이스, 및 파장들의 제1(제2) 범위에 속하는 제1(제2) 복수의 광의 스펙트럼 컴포넌트들을 콜리메이터 하우징에 의해 형성된 인클로저에 전달하기 위해 광섬유를 수용하는 포트, 및 콜리메이터 하우징에 의해 형성된 인클로저 내에 적어도 부분적으로 위치되는 애크로매틱 렌즈를 포함하고, 애크로매틱 렌즈는 타깃 표면 상의 제1(제2) 영역을 조명하기 위해 제1(제2) 복수의 광의 스펙트럼 컴포넌트들을 타깃 표면 상으로 지향시키고, 제2 영역은 제1 영역과 실질적으로 동일하다. Implementations disclosed describe a collimator assembly having a collimator housing that includes an interface configured to optically couple to a process chamber that has a target surface, and a port to receive an optical fiber to deliver, to an enclosure formed by the collimator housing, a first (second) plurality of spectral components of light belonging to a first (second) range of wavelengths, and an achromatic lens located, at least partially, within the enclosure formed by the collimator housing, the achromatic lens to direct the first (second) plurality of spectral components of light onto the target surface to illuminate a first (second) region on the target surface, wherein the second region is substantially the same as the first region.