APPARATUS FOR MANUFACTURING MASK

• Main Authors: JO EUNBEE, HWANG KYU HWAN, KIM HWI, PARK SANGHA, KIM JEONGKUK, NAM KANGHYUN, HONG JAEMIN, JIN SEUNGMIN, LEE AREUM
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 15.02.2023
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

A mask manufacturing device of one embodiment of the present invention may comprise: a stage that supports a target mask; and a light irradiation part disposed on the stage and irradiating a laser to the target mask. The target mask may comprise: a target mask sheet comprising a front surface and a rear surface; and a mask frame comprising an upper surface facing the rear surface and a lower surface facing the upper surface. The stage may comprise a first support part that supports the target mask sheet and a second support part that supports the mask frame, and a step may be provided between the first support part and the second support part in a thickness direction. Therefore, the present invention is capable of precisely processing an open area of the mask. 본 발명 일 실시예의 마스크 제조 장치는 대상 마스크를 지지하는 스테이지 및 스테이지 상에 배치되고 대상 마스크에 레이저를 조사하는 광 조사부를 포함할 수 있다. 대상 마스크는 전면 및 배면을 포함하는 대상 마스크 시트 및 배면과 마주하는 상면 및 상면에 대향하는 하면을 포함하는 마스크 프레임을 포함할 수 있다. 스테이지는 대상 마스크 시트를 지지하는 제1 지지부 및 마스크 프레임을 지지하는 제2 지지부를 포함할 수 있고, 제1 지지부와 제2 지지부 사이는 두께 방향에서 단차를 가질 수 있다.