적층식 마이크로프로브를 포함하는 감지 시스템

감지 시스템은 마이크로프로브를 포함하는데, 마이크로프로브는: 적층식 구조물 - 적층식 구조물은: 작동 전극을 포함하는 센서를 포함하는 감지 유닛 - 감지 유닛은 적층식 구조물의 적층 방향을 따라 봤을 때 제1 둘레를 갖고, 제1 재료 인성을 갖는 제1 재료를 포함하며, 제1 측 및 제2 측을 포함함 -; 응력 하에서 변형하도록 구성되며 감지 유닛의 제1 측 상에 배치되는 변형 가능한 층; 감지 유닛 반대편의 변형 가능한 층 상에 배치되며 적층 방향을 따라 봤을 때 제2 둘레를 갖는 연성 층 - 제1 둘레는 제2 둘레 내에 있고, 연...

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Main Authors LEFLER SHARON, SCHREIBER DAVID, TAMIR IDAN, MASASA HILA
Format Patent
LanguageKorean
Published 14.02.2023
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Summary:감지 시스템은 마이크로프로브를 포함하는데, 마이크로프로브는: 적층식 구조물 - 적층식 구조물은: 작동 전극을 포함하는 센서를 포함하는 감지 유닛 - 감지 유닛은 적층식 구조물의 적층 방향을 따라 봤을 때 제1 둘레를 갖고, 제1 재료 인성을 갖는 제1 재료를 포함하며, 제1 측 및 제2 측을 포함함 -; 응력 하에서 변형하도록 구성되며 감지 유닛의 제1 측 상에 배치되는 변형 가능한 층; 감지 유닛 반대편의 변형 가능한 층 상에 배치되며 적층 방향을 따라 봤을 때 제2 둘레를 갖는 연성 층 - 제1 둘레는 제2 둘레 내에 있고, 연성 층은 제1 인성보다 더 큰 제2 인성을 갖는 제2 재료를 포함함 -; 감지 유닛의 제2 측 상에 배치되는 센서 계면 층을 포함함 -; 및 적층식 구조물을 부분적으로 캡슐화하며 적층식 구조물을 주변 환경으로부터 기계적으로 격리시키는 봉지재를 포함한다. A sensing system includes a microprobe, the microprobe including: a layered structure including: a sensing unit comprising a sensor including a working electrode, wherein the sensing unit has a first perimeter when viewed along a layering direction, includes a first material having a first toughness, and including a first side and a second side; a deformable layer configured to deform under stress and positioned on the first side of the sensing unit; a ductile layer positioned on the deformable layer opposite the sensing unit and having a second perimeter when viewed along the layering direction, the first perimeter being within the second perimeter, the ductile layer including a second material having a second toughness greater than the first toughness; a sensor-interface layer positioned on the second side of the sensing unit; and an encapsulant partially encapsulating the layered structure and mechanically isolating the layered structure from a surrounding environment.
Bibliography:Application Number: KR20227027716