LOAD PORT

• Main Authors: ISHIHARA YUKI, OGAWA TATSURU, SUGIMOTO TOSHIYA
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 14.02.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

The present invention provides a load port having a rectangular plane shape and capable of accurately detecting a state of receiving a conveying object in a containment container even though the conveying object is a large-sized conveying object without increasing a size of the whole device, and a mapping processing method at the load port. The load port of the present invention comprises: a frame having an opening through which a transporting object can pass in a substantially horizontal posture; a load port door capable of being hooked and coupled with a container door capable of opening and closing a carrying port of a containment container having a slot capable of receiving the transporting object in a multi-stage manner, and capable of opening and closing the opening of the frame; and a mapping device for mapping information on a receiving state including presence or absence of the transporting object in each slot in the containment container through the opening and the carrying port, wherein the mapping device includes: two mapping sensors capable of detecting an end surface of the transporting object by vertically or independently moving the load port door when opening and closing the opening, and irradiating detection waves toward an inside of the containment container; and a determination unit for determining whether the receiving state of the transporting object is good or bad based on sensing information by the two mapping sensors. 본 발명은, 장치 전체의 대형화를 초래하지 않고, 평면 형상이 직사각 형상이고 대형의 반송 대상물이어도 격납 용기 내에서의 반송 대상물의 수용 상태를 고정밀도이면서로 또한 정확하게 검출 가능한 로드 포트 및 로드 포트에서의 매핑 처리 방법을 제공한다. 본 발명의 로드 포트는, 반송 대상물이 대략 수평 자세로 통과 가능한 개구부를 갖는 프레임과, 반송 대상물을 다단형으로 수용 가능한 슬롯을 갖는 격납 용기의 반출입구를 개폐 가능한 용기 도어와 걸림 결합 가능하고 또한 프레임의 개구부를 개폐 가능한 로드 포트 도어와, 개구부 및 반출입구를 통해서 격납 용기 내의 각 슬롯에서의 반송 대상물의 유무를 포함하는 수용 상태에 관한 정보를 매핑하는 매핑 기구를 구비하고, 매핑 기구는, 개구부를 개폐할 때의 로드 포트 도어의 승강 이동과 일체 또는 독립적으로 승강 이동하고, 검출파를 격납 용기의 내부를 향해서 조사함으로써 반송 대상물의 단부면을 검지 가능한 2개의 매핑 센서와, 2개의 매핑 센서에 의한 센싱 정보에 기초하여 반송 대상물의 수용 상태의 양부를 판별하는 판별부를 갖는다.