진공 시스템 장치 및 방법
본 발명의 관점은 진공 시스템(1)에 관련된다. 진공 시스템(1)에는 진공 펌프(3)와, 열전달 유체를 수용하기 위한 열교환기(7)를 포함한다. 열전달 유체는 가스를 포함한다. 열교환기(7)는 진공 펌프(3)에 열적으로 결합되고, 진공 펌프(3)로부터 열에너지를 흡수하도록 작동 가능하다. 본 발명의 관점은 또한 진공 시스템(1)을 작동시키는 방법에 관련되고, 진공 시스템(1)의 작동을 제어하기 위한 컨트롤러(31)를 포함한다. Aspects of the present invention relate to a vacuum system....
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Format | Patent |
Language | Korean |
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13.02.2023
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Summary: | 본 발명의 관점은 진공 시스템(1)에 관련된다. 진공 시스템(1)에는 진공 펌프(3)와, 열전달 유체를 수용하기 위한 열교환기(7)를 포함한다. 열전달 유체는 가스를 포함한다. 열교환기(7)는 진공 펌프(3)에 열적으로 결합되고, 진공 펌프(3)로부터 열에너지를 흡수하도록 작동 가능하다. 본 발명의 관점은 또한 진공 시스템(1)을 작동시키는 방법에 관련되고, 진공 시스템(1)의 작동을 제어하기 위한 컨트롤러(31)를 포함한다.
Aspects of the present invention relate to a vacuum system. The vacuum system includes a vacuum pump; and a heat exchanger for receiving a heat transfer fluid. The heat transfer fluid comprising a gas. The heat exchanger is thermally coupled to the vacuum pump and is operable to absorb thermal energy from the vacuum pump. Aspects of the present invention also relate to a method of operating a vacuum system; and a controller for controlling operation of a vacuum system. |
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Bibliography: | Application Number: KR20227042812 |