기판들로부터 자극 반응성 폴리머들의 잔류물-프리 (residue-free) 제거

• Main Authors: HYMES DIANE, SIRARD STEPHEN M, BLACHUT GREGORY
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 17.01.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMISTRY; COMPOSITIONS BASED THEREON; COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONSONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS; METALLURGY; ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; SEMICONDUCTOR DEVICES; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP

자극 반응성 폴리머들 (stimulus sensitive polymers; SRPs) 을 제거하는 것은 상승된 온도에서 비활성 가스 (noble gas) 플라즈마에서 생성된 고 에너지 준안정 (metastable) 종에 대한 노출을 포함한다. 준안정 종은 폴리머 또는 다른 잔류물들 상의 결합들을 절단하기 위해 (scission) 충분한 에너지들 및 수명들을 갖는다. SRP의 천정 온도 (ceiling temperature) 보다 보다 높은 온도들에서, 결합 절단이 발생하면 휘발성 모노머들 (monomers) 로 되돌리는 강한 열역학적 구동력이 있다. 준안정 종은 화학적으로 반응성이 없고 아래에 놓인 표면에 눈에 띄게 영향을 주지 않는다. 고 에너지 준안정 종은 열과 같은 다른 자극에 노출된 후 남아 있는 잔류물들을 제거하는 데 효과적이다. Removing stimulus responsive polymers (SRPs) includes exposure to high energy metastable species, generated in a noble gas plasma, at an elevated temperature. The metastable species have sufficient energies and lifetimes to scission bonds on the polymer or other residues. At temperatures greater than the ceiling temperature of the SRP, there is a strong thermodynamic driving force to revert to volatile monomers once bond scissioning has occurred. The metastable species are not chemically reactive and do not appreciably affect the underlying surface. The high energy metastable species are effective at removing residues that remain after exposure to other stimuli such as heat.