점성 물질의 전사방법

본 발명은 수용 기판 상으로 점성 기능성 물질을 전사하는 전사 방법을 제공한다. 상기 방법은 캐비티(12)를 포함하는 캐비티 표면(11)을 갖는 플레이트(10)를 제공한다. 또한 캐비티(12)의 각각의 구역(121, 122, 123)과 열 접촉하는 복수의 개별적으로 어드레스가능한 저항성 발열 소자(131, 132, 133)를 제공한다. 충분히 가열되면, 캐비티 내의 캐비티 표면과 기능성 물질 사이의 계면에서 가스를 발생시켜, 가스 발생에 의해 캐비티로부터 기능성 물질을 수용 기판으로 전사하는 물질 조성으로 캐비티 내에 점성 기능성...

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Main Authors BRUNING FABIEN BERNARD JACQUES, HENDRIKS ROB JACOB
Format Patent
LanguageKorean
Published 16.01.2023
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Summary:본 발명은 수용 기판 상으로 점성 기능성 물질을 전사하는 전사 방법을 제공한다. 상기 방법은 캐비티(12)를 포함하는 캐비티 표면(11)을 갖는 플레이트(10)를 제공한다. 또한 캐비티(12)의 각각의 구역(121, 122, 123)과 열 접촉하는 복수의 개별적으로 어드레스가능한 저항성 발열 소자(131, 132, 133)를 제공한다. 충분히 가열되면, 캐비티 내의 캐비티 표면과 기능성 물질 사이의 계면에서 가스를 발생시켜, 가스 발생에 의해 캐비티로부터 기능성 물질을 수용 기판으로 전사하는 물질 조성으로 캐비티 내에 점성 기능성 물질(50)을 제공한다. 개선된 전사 방법에 따르면 캐비티의 각각의 구역에 있는 점성 기능성 물질의 각각의 부분은 각각의 시간 의존적 크기를 갖는 전력(C131, C132, C133)을 복수의 개별적으로 어드레스가능한 발열 소자 각각에 공급함으로써 가열된다. The present disclosure provides a transfer method to transfer a viscous functional material onto a receiving substrate. The method provides a plate (10) having a cavity surface (11) that includes a cavity (12). Furthermore it provides a plurality of individually addressable resistive heater elements (131, 132, 133) in thermal contact with respective zones (121, 122, 123) of the cavity (12). It provides viscous functional material (50) in the cavity with a material composition that, when sufficiently heated, generates a gas at an interface between the cavity surface in the cavity and the functional material, to transfer the functional material from the cavity by the gas generation onto the receiving substrate. According to the improved transfer method respective portions of the viscous functional material in respective zones of the cavity are heated by supplying respective ones of the plurality of individually addressable heater elements with an electric power (C131, C132, C133) having a respective time dependent magnitude.
Bibliography:Application Number: KR20227042790