광학 대물렌즈의 회전을 위한 장치 및 방법

• Main Authors: XU ZHIWEI STEVE, ROMANOVSKY ANATOLY, LEONG JENN KUEN, KAVALDJIEV DANIEL, WANG CHUNHAI, WHITESIDE BRET
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 09.01.2023
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS; TESTING

암시야 광학 시스템은 집광 구경수 내에서 샘플로부터의 광을 집광하는 암시야 대물렌즈 - 암시야 대물렌즈는 광축에 대해 대칭적으로 반대되는 방위각들에서 입사구 및 출사구를 포함함 -, 입사구와 출사구를 포함하는 암시야 대물렌즈의 적어도 일부가 광축을 중심으로 회전할 수 있도록 하는 회전 베어링, 및 입사구의 회전각을 제어하는 회전 구동기를 갖는 회전 대물렌즈 어셈블리를 포함할 수 있다. 본 시스템은 또한, 두 개 이상의 조명 방위각들에서 입사구를 통해 조명 빔으로 샘플을 조명하는 다각도 조명 서브시스템 - 샘플 상의 조명 빔의 방위각은 대물렌즈를 두 개 이상의 조명 방위각들 중 임의의 조명 방위각으로 회전시킴으로써 선택가능함 - 을 포함할 수 있다. A dark-field optical system may include a rotational objective lens assembly with a dark-field objective lens to collect light from a sample within a collection numerical aperture, where the dark-field objective lens includes an entrance aperture and an exit aperture at symmetrically-opposed azimuth angles with respect to an optical axis, a rotational bearing to allow rotation of at least a part of the dark-field objective lens including the entrance aperture and the exit aperture around the optical axis, and a rotational driver to control a rotational angle of the entrance aperture. The system may also include a multi-angle illumination sub-system to illuminate the sample with an illumination beam through the entrance aperture at two or more illumination azimuth angles, where an azimuth angle of the illumination beam on the sample is selectable by rotating the objective lens to any of the two or more illumination azimuth angles.